Eシリーズに「SK-P1501G」「SK-P2200G」をラインアップ
大日本スクリーン製造株式会社 (株式会社大日本スクリーン製造（本社：京都市上京区）のメディアアンドプレシジョンテクノロジー カンパニー（社長：藤澤 恭平）は、フレキシブルディスプレイ用基板製造装置「コータード ライヤー」2 機種を開発しました。今回開発した「SK-P1501G」は第6世代、「SK-P2200G」は第8世代基板に対応し、当社の有機ELパネル用生産装置「Eシリーズ」3機種に加わります。両機種は12月上旬に販売を開始しました。
フレキシブルディスプレイは、一般的なガラスではなく、ポリイミド※4などの薄膜を基板に使用した有機 EL パネルが主流です。曲げたり折ったりすることができるため、特にモバイル機器やウェアラブル機器向けの市場が大きく成長しています。また、近年では、IT や車載用途への採用が進み、ディスプレイの形状も多様化しています。
このような動向を受け、当社では、フレキシブルディスプレイの基板形成工程で使用するコーター／ドライヤーを新たに2機種開発しました。それぞれ第6世代、第8世代の基板に対応した「SK-P1501G」「SK-P2200G」です。いずれも、当社の有機ELパネル製造装置「Eシリーズ」のラインアップに追加されました。
SK-P1501G」「SK-P2200G」は、2016年の発売以来、実績を積み重ねてきた第6世代基板用システム「SK-P1500G」の主な機能を継承しています。今回発売する2機種は、数千mPa・sの高粘度ポリイミドワニスの塗布に対応し、フレキシブル基板に必要な極薄の膜を形成することが可能です。
また、量産時のスループットを飛躍的に向上させることができます。大型ガラス支持基板の洗浄からポリイミド塗布・乾燥までを一貫して行えるようにすることで、量産スループットを飛躍的に向上させました。コーター部には、SCREEN FTのスリット式塗布装置「リニアコーターTM」の技術を最適化し、さまざまな膜厚で優れた均一性を実現しています。
従来の厚膜に加え、5 μm※5 の薄膜形成も可能なため、多様化するフレキシブルディスプレーの基板厚みへの対応も可能です。また、有機汚染物質やパーティクルの発生・付着リスクをさらに低減するための各種対策を充実させ、メンテナンス機能も大幅に向上させました。
また、SK-P2200Gは、第8世代基板において業界最高水準のラインタクトレベル120秒以下を実現。これにより、さらなる生産性の向上と有機ELディスプレイの大型化を実現します。当社は現在、「E シリーズ」のラインアップを拡充しています。これらの装置は、有機 EL パネルをはじめとする高精細・高付加価値ディスプレイの安定生産に大きく貢献するものと考え ています。
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